เครื่องมือตรวจจับที่ใช้กันทั่วไปสำหรับการวิเคราะห์องค์ประกอบของวัสดุนาโนรวม:
1. ICP (พลาสมาคู่แบบเหนี่ยวนำ): ICP เป็นเทคโนโลยีที่ใช้กันอย่างแพร่หลายในสาขาเคมีวิเคราะห์และวัสดุศาสตร์ สามารถใช้เพื่อกำหนดเนื้อหาและองค์ประกอบขององค์ประกอบในวัสดุนาโน โดยการแปลงตัวอย่างให้เป็นไอออนของก๊าซ และใช้สเปกตรัมพลาสมาที่สร้างขึ้นเพื่อกำหนดความเข้มข้นขององค์ประกอบ ICP-MS (Inductively Coupled Plasma Mass Spectrometer) ผสมผสานเทคนิค ICP และแมสสเปกโตรมิเตอร์เพื่อวิเคราะห์ความเข้มข้นต่ำมากขององค์ประกอบในวัสดุนาโน
2. XRF (X-ray Fluoroscopy): XRF เป็นเทคโนโลยีที่ใช้กันอย่างแพร่หลายสำหรับการวิเคราะห์วัสดุและการทดสอบแบบไม่ทำลาย โดยจะกำหนดองค์ประกอบขององค์ประกอบโดยการฉายรังสีพื้นผิวหรือภายในตัวอย่างด้วยรังสีเอกซ์ และวัดการแผ่รังสีเรืองแสงของคุณลักษณะขององค์ประกอบในตัวอย่าง XRF เหมาะสำหรับวัสดุนาโนหลายประเภท รวมถึงตัวอย่างของแข็ง ของเหลว และผง
3. EDS (Energy Dispersive X-ray Spectroscopy): EDS เป็นเทคนิคกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนที่กำหนดองค์ประกอบขององค์ประกอบในตัวอย่างโดยการวัดรังสีเอกซ์ที่เกิดจากปฏิสัมพันธ์ระหว่างลำอิเล็กตรอนกับตัวอย่างในวัสดุ EDS มักใช้ร่วมกับกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนแบบส่องกราด (SEM) เพื่อให้การวิเคราะห์องค์ประกอบพื้นผิวของวัสดุนาโน
